Target in ceramica: tre fattori principali che influenzano le proprietà di esso

La purezza diTarget in ceramica.ha una grande influenza sulle prestazioni del film di sputtering. Più alto è la purezza, migliore è l'uniformità del film di sputtering e la qualità dei prodotti batch. Inoltre, al fine di preparare l'obiettivo ceramico ad alte prestazioni, dovremmo controllare questi fattori, anche compresi il metodo di stampaggio, le dimensioni della materia prima, l'effetto di sinterizzazione, oggi per analizzare i principali fattori che influenzano le prestazioni dell'obiettivo ceramico sono quelle.

Metodo di formazione

Al fine di ridurre la porosità del bersaglio ceramico e migliorare le proprietà dei film sottili, è richiesta l'alta densità dell'obiettivo ceramico sputtering. Bassa porosità, alta densità significa che i cereali nel corpo ceramica sono strettamente disposti, e non è facile formare scoperte distruttive durante il cuscinetto carichi esterni o sostanze corrosive. Il metodo di formatura è la chiave per ottenere l'embrione in ceramica della densità del calcio. Il bersaglio in ceramica è solitamente formato da pressatura a secco, pressatura isostatica, fusione calda e altri metodi. Diversi metodi hanno caratteristiche diverse e hanno effetti diversi sulla sinterizzazione e sulla microstruttura della ceramica del tasso di ceramica.

Granularità delle materie prime

La dimensione delle particelle della materia prima ha una grande influenza sulla qualità del film formato dall'obiettivo ceramico. Solo quando la materia prima è abbastanza fine, il prodotto Find Fuoco può formare la microstruttura e farlo avere una buona resistenza all'usura. Particelle di polvere, più fine, maggiore è l'attività e può promuovere la sinterizzazione, la forza in porcellana è più alta, anche fatta di piccole particelle possono anche essere disperse a causa del corindone e del coefficiente di espansione lineare diverso della fase di vetro nel limite del grano causato dalla concentrazione di stress , Ridurre il rischio di cracking, il grano fine può anche ostacolare lo sviluppo di micro crepe, non facile in una frattura transgranalare, è utile per migliorare la forza della frattura, può anche migliorare la resistenza all'usura.

La sinterizzazione

Per la sinterizzazione ceramica, semplicemente parlando è il processo di densificazione del billet verde ceramico sotto alta temperatura. Con l'aumento di temperatura e del tempo, si verifica il legame tra le particelle di polvere, la forza del corpo sinterizzato aumenta, l'aggregato di particelle di polvere in un forte corpo sinterizzato policristallino con una certa microstruttura e ottenere le proprietà fisiche e meccaniche richieste del prodotto o Materiale. Il tasso di densificazione e la struttura finale di un campione spesso riflettono il tipo di trattamento termico ha subito.