Target planare e differenze di destinazione rotante

L'obiettivo comune sputtering nel mercato include principalmente bersaglio a sputtering piano eObiettivo di sputtering rotante

Per il bersaglio planare, i suoi principali vantaggi sono una struttura semplice, una forte versatilità, un'uniformità del film e una buona ripetibilità. I ​​più grandi svantaggi sono un basso tasso di utilizzo del target, generalmente solo circa il 20%; quando viene consumato il bersaglio nella regione di Glow (regione di distribuzione del campo magnetico) In una certa misura, verrà formata le borse a forma di striscia, il che rende il diluente del bersaglio. Quando la profondità del pozzo raggiunge un determinato valore, il bersaglio non è più utilizzabile.

Rispetto agli obiettivi planari, i principali vantaggi degli obiettivi rotanti sono la loro struttura compatta e il tasso di utilizzo del target più elevato, il che significa che gli obiettivi rotanti possono risolvere il problema del basso tasso di utilizzo degli obiettivi planare. Tuttavia, il bersaglio rotante ha alcuni inevitabili svantaggi. Quando si spostano, ci sono molti anelli di bagliore su tutta la superficie del bersaglio, che non possono formare bagliore a strisce continue. Pertanto, quando una vasta area del film è rivestita, l'uniformità della superficie del film è scarsa ed è difficile soddisfare i requisiti , che è il più grande svantaggio del bersaglio rotante.

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