Target di sputtering Perché legare il bersaglio posteriore
Pubblica Time: 2022-03-07 Origine: motorizzato
WHy per vincolare l'obiettivosu S.targeting bersaglio?
Obiettivi di sputtering.sono utilizzati principalmente nel settore delle informazioni elettroniche, come circuiti integrati, archiviazione di informazioni, display a cristalli liquidi, memoria laser, dispositivi elettronici di controllo, ecc. Può essere utilizzato anche in rivestimento in vetro, materiali resistenti all'usura, resistenza alla corrosione ad alta temperatura Prodotti decorativi di grado e altri settori.
L'incollaggio si riferisce al legame un bersaglio a un obiettivo posteriore con saldatura. Ci sono tre modi principali: crimpatura, brasatura e adesivo conduttivo. La brasatura è comunemente utilizzata per il legame obiettivo, e l'indio, la stagno e la latta indio sono comunemente usati per le saldature. L'energia di sputtering è generalmente inferiore a 20W /㎡.
Perché viviamo il bersaglio posteriore?
1. impedire cracking non uniforme degli obiettivi, come bersagli fragili e obiettivi sinterizzati, come ITO, silice e ceramiche;
2. Risparmia il costo e prevenire la deformazione. Se il bersaglio è troppo costoso, rendere il bersaglio più sottile e incollare l'obiettivo posteriore per evitare distorsioni.
Di ritorno obbiettivo
1. Il rame senza ossigeno ha una buona conduttività elettrica e conduttività termica.
2. Spessore moderato, generalmente raccomandato lo spessore target posteriore di circa 3 mm. Se è troppo spesso, consuma parte della forza del campo magnetico; È troppo sottile e facilmente deformabile.
Il processo di rilegatura
1. Pretrattamento combinato del bersaglio anteriore e delle superfici target posteriore
2. Posizionare il bersaglio e l'obiettivo posteriore sul tavolo di saldatura e aumentare la temperatura alla temperatura di saldatura.
3. Target metallizzato e target backfiled.
4. Incolla obiettivo e target posteriore
5. Raffreddamento e post-elaborazione