Target di sputtering Perché legare il bersaglio posteriore

WHy per vincolare l'obiettivosu S.targeting bersaglio?

Obiettivi di sputtering.sono utilizzati principalmente nel settore delle informazioni elettroniche, come circuiti integrati, archiviazione di informazioni, display a cristalli liquidi, memoria laser, dispositivi elettronici di controllo, ecc. Può essere utilizzato anche in rivestimento in vetro, materiali resistenti all'usura, resistenza alla corrosione ad alta temperatura Prodotti decorativi di grado e altri settori.

L'incollaggio si riferisce al legame un bersaglio a un obiettivo posteriore con saldatura. Ci sono tre modi principali: crimpatura, brasatura e adesivo conduttivo. La brasatura è comunemente utilizzata per il legame obiettivo, e l'indio, la stagno e la latta indio sono comunemente usati per le saldature. L'energia di sputtering è generalmente inferiore a 20W /㎡.

Perché viviamo il bersaglio posteriore?

1. impedire cracking non uniforme degli obiettivi, come bersagli fragili e obiettivi sinterizzati, come ITO, silice e ceramiche;

2. Risparmia il costo e prevenire la deformazione. Se il bersaglio è troppo costoso, rendere il bersaglio più sottile e incollare l'obiettivo posteriore per evitare distorsioni.

Di ritorno obbiettivo

1. Il rame senza ossigeno ha una buona conduttività elettrica e conduttività termica.

2. Spessore moderato, generalmente raccomandato lo spessore target posteriore di circa 3 mm. Se è troppo spesso, consuma parte della forza del campo magnetico; È troppo sottile e facilmente deformabile.

Il processo di rilegatura

1. Pretrattamento combinato del bersaglio anteriore e delle superfici target posteriore

2. Posizionare il bersaglio e l'obiettivo posteriore sul tavolo di saldatura e aumentare la temperatura alla temperatura di saldatura.

3. Target metallizzato e target backfiled.

4. Incolla obiettivo e target posteriore

5. Raffreddamento e post-elaborazione