Metodo di realizzazione del materiale obiettivo, classificazione e applicazione

Fare il metodo diTarget di sputtering.materials

Allo stato attuale, i materiali target sono preparati principalmente fusione e metallurgia della polvere.

1. Metodo di fusione: la materia prima lega con un determinato rapporto composizione è fuso, quindi la soluzione lega è versata nello stampo per formare lingotto, e infine il bersaglio viene effettuato mediante elaborazione meccanica, e il metodo di casting è fuso e lanciato vuoto. I metodi di fusione comunemente usati sono la fusione di induzione sottovuoto, la fusione dell'arco sottovuoto e la fusione di bombardamenti elettronici del vuoto, ecc. I suoi vantaggi sono il contenuto di impurità del bersaglio (in particolare il contenuto di impurità del gas) è basso, ad alta densità, può essere su larga scala; Lo svantaggio è che per due o più metalli con diversi punti di fusione e densità, è difficile ottenere obiettivi di lega uniformi per il normale metodo di fusione.

2. Metodo di metallurgia in polvere: le materie prime in lega con un determinato rapporto composizione sono sciolte, versato in lingotti e poi schiacciato. La polvere schiacciata è formata dalla pressatura isostatica, quindi sinterizzata ad alta temperatura, e formula infine il materiale bersaglio. Il suo vantaggio è che il materiale di destinazione è uniforme nella composizione; Gli svantaggi sono a bassa densità, contenuto elevato di impurità, processo di metallurgia in polvere comunemente utilizzato, compresa la pressatura a freddo, la pressatura a caldo sottovuoto e la pressatura isostatica calda.

Classificazione e applicazione del bersaglio di sputtering

Secondo il diverso obiettivo del materiale può essere suddiviso in: bersaglio in metallo, ceramica (ossido, nitruro, ecc.) Target, bersaglio in lega.

Secondo diverse direzioni applicative, può essere diviso in:

1. Target correlato al semiconduttore: elettrodo, film di cablaggio: bersaglio in alluminio, bersaglio in rame, bersaglio in oro, bersaglio in argento, target di palladio, target in platino, target in lega di silicone in alluminio, target in lega di rame in alluminio, ecc. Pellicola per elettrodi di stoccaggio: Tungsteno di molibdeno Target, Target in titanio, ecc. Pellicola adesione: bersaglio del tungsteno, bersaglio in titanio, ecc. Pellicola isolante condensatore: Materiale bersaglio con zirconato con piombo.

2. Target della registrazione magnetica: pellicola di registrazione magnetica verticale: target in lega di cobalto-cromo, ecc. Film del disco rigido: bersaglio in lega di cobalto-cr-ta, target in lega di cobalto-cr-pt, bersaglio in lega di platino cobalto-cr-ta, ecc. Testa del pellicola: Target in lega di cromo del tantalio di Cobalt, target in lega di zirconio del cromo cobalto, ecc. IOL Film: Target in lega di cobalto-platino, bersaglio in lega di cuobalto-palladio, ecc.

3. Target della registrazione ottica: Pellicola di registrazione del CD di fase: Target Telluride, Target di Telluride, Target di Germanio ANTIMONY TELURUDE Target, Target in lega di telluride Germanio, ecc. Film di registrazione del disco magnetico: Dysprosio Iron Cobalt Ley Target, TERBIUM Target, ferro terbio e bersaglio in lega di cobalto Target in lega di ferro e allumina di ferro, bersaglio di allumina, bersaglio di ossido di magnesio, bersaglio in nitruro di silicio, ecc. Film di riflessione del disco ottico: Al Target, target al TI, target al CR, target in oro, target in lega d'oro, ecc. Pellicola di protezione del CD: Silicon Obiettivo di nitride, bersaglio di ossido di silicone, obiettivo zinco solfuro, ecc.

4. VISUALIZZATORE TARGET: Pellicola conduttiva trasparente: bersaglio di ossido di latta indio, bersaglio in alluminio di ossido di zinco, ecc. Pellicola di cablaggio dell'elettrodo: bersaglio di molibdeno, bersaglio del tungsteno, bersaglio in titanio, tartantum bersaglio, target di cromo, bersaglio in alluminio, tartantum in lega di alluminio, tantalio in alluminio Target in lega, ecc. Film elettroluminescenti: Target manganese drogato a zinco solfuro, tarcio di zinco solfuro Tarbio Tarbium, Target di EuroPium doped solfuro di calcio, bersaglio dell'ossido di yttrium, bersaglio di ossido di tantalio, bersaglio del titolare di barium, ecc.

5. Altro destinazione dell'applicazione: Pellicola decorativa: target in titanio, target di zirconio, target di cromo, target in lega di alluminio in titanio, bersaglio in acciaio inossidabile, ecc. Pellicola a bassa resistenza: target in lega NI-CR, target in lega di silicone NI-CR, NI-CR alluminio Target in lega, target in lega di Ni-CU, ecc. Pellicola superconduttore: YBCO Target, Bismuth Strontium calcio di ossigeno Obiettivo di ossigeno. Pellicola di placcatura degli attrezzi: obiettivo di nitride, bersaglio in metallo duro, bersaglio del boruro, target di cromo, target in titanio, target in alluminio in titanio, target di zirconio, target di grafite, ecc.