Nel settore dei chip con alta tecnologia, l'obiettivo di sputtering è una materia prima necessaria per la produzione di VLSI. Il che utilizza l'uso dello ione, la fonte di ioni attraverso l'accelerazione raccolta nell'alto vuoto, e la formazione di un raggio di ioni ad alta velocità, il bombardamento della superficie solida, degli ioni e dello scambio di slancio atomico della superficie solida.
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