Materiale di evaporazione del carburo / nitruro
- Pellet di carburo di silicio (SiC) ad alta purezza
- Nitruro di alluminio (AlN)-Pellets
- Nitruro di gallio (GaN)-Pellet
- Pellet di carburo di niobio (NbC).
- Nitruro di niobio (NbN)-Pellet
- Nitruro di silicio (Si3N4)-Pellet
- Pellet di carburo di tantalio (TaC).
- Tantalio Nitruro (TaN)-Pellet
- Pellet di carburo di titanio (TiC).
- Nitruro di Titanio (TiN)-Pellets