Siliciuro di titanio (TiSi2)-bersaglio sputtering
Descrizione del prodotto
Caratteristica
Il disiliciuro di titanio (TiSi2) è un composto chimico inorganico.
Formula chimica：TiSi2
Massa molare：104.038 g/mol
Aspetto: cristalli ortorombici neri
Densità：4.02 g/cm3
Punto di fusione: 1.470 ° C (2.680 ° F; 1.740 K)
Solubilità in acqua：insolubile
Solubilità: solubile in HF
Applicazione
Il siliciuro di titanio è utilizzato nell'industria dei semiconduttori.Viene tipicamente coltivato mediante la tecnologia del salicide su linee di silicio e polisilicio per ridurre la resistenza di foglio delle connessioni dei transistor locali.Nell'industria microelettronica è tipicamente utilizzato nella fase C54.