Quali sono i requisiti materiali per la fonte di evaporazione nel rivestimento sottovuoto?

Generalmente, è necessario prendere in considerazione il materiale e la forma della fonte di evaporazione. I requisiti generali delMateriale sorgente evaporazionesono:

L'alto punto di fusione

Poiché la temperatura di evaporazione del materiale di evaporazione (la temperatura della pressione del vapore di equilibrio di 1.3pa) è per lo più tra 1000 ~ 2000 ℃, pertanto, il punto di fusione del materiale di origine dell'evaporazione deve essere superiore a questa temperatura.

Bilancia la pressione del vapore

Lo scopo principale è prevenire o ridurre il materiale di origine dell'evaporazione in materiali di evaporazione ad alta temperatura e diventare impurità, nello strato di rivestimento di evaporazione. Solo nei materiali di sorgente di evaporazione quando il saldo della pressione dell'aria è sufficientemente basso da garantire che abbia la più piccola evaporazione autonoma durante l'evaporazione, non influire sul sistema di aspirazione del sistema e della membrana di inquinamento, al fine di effettuare la quantità di materiali di origine dell'evaporazione sono molto poco, l'evaporazione Temperatura, materiale sorgente di evaporazione La scelta, dovrebbe rendere il materiale della temperatura di evaporazione è inferiore ai materiali di origine dell'evaporazione, la pressione di equilibrio di 1,3 x 10-6 PA è possibile utilizzare la temperatura corrispondente a 1,3 × 10-3PA per preparare l'alta qualità film.

Proprietà chimiche stabili

La reazione chimica con materiale di evaporazione non dovrebbe verificarsi ad alta temperatura. A temperature elevate, alcuni materiali di origine per evaporazione reagiscono e diffusi con materiali di evaporazione per formare composti e leghe. Soprattutto la scarsa fonte di evaporazione della lega eutettica è facile da bruciare. Ad esempio, il tantalio e l'oro formano le leghe ad alta temperatura, e alluminio, ferro, nichel, il cobalto formerà anche le leghe con tungsteno, molibdeno, tantalio e altri materiali evaporativi. Il tungsteno può anche reagire con acqua o ossigeno per formare ossidi volatili come wo, wo2 o wo3. Il molibdeno può anche reagire con acqua o ossigeno per formare Moo3 volatili, ecc. Pertanto, dovrebbe scegliere il materiale che non reagire con il materiale di rivestimento o formare la lega per eseguire il materiale sorgente evaporazione del materiale.

I materiali utilizzati come fonti di evaporazione devono avere un alto punto di fusione, bassa volatilizzazione e scarsa fragile dopo il raffreddamento ad alta temperatura. La fonte di evaporazione lineare comunemente utilizzata dovrebbe essere in grado di essere bagnata con la fase di metallo evaporazione, il punto di fusione è molto maggiore della temperatura di evaporazione dell'oro e non reagisce con la lega placcata oro.