Materiale targsteno al tungsteno ad alta purezza (produzione di trucioli)

Applicazione del bersaglio di sputtering del tungsteno

Purezza elevataTungsten bersay.è un substrato importante per la transizione del film di ossido di tungsteno nei dispositivi a semiconduttore. A causa dell'elevato punto di fusione del tungsteno, gli obiettivi di tungsteno sono preparati principalmente dalla metallurgia della polvere. Il metodo di preparazione include la purezza del 99,999% o più, dimensione delle particelle di 3,2 polvere di tungsteno di 3,2 4,2 μm per miscelazione uniforme, posizionata nel forno di trattamento termico sottovuoto per il pre-degassing, e quindi in idrogeno, continua a riscaldare i passaggi di degasaggio; Polvere di tungsteno degassata attraverso la pressione del vuoto a caldo per completare una fase di sinterizzazione; Il secondo processo di sinterizzazione è completato da una stampa isostatica calda dopo la prima sinterizzazione. Dercinando l'intera superficie del secondo piatto di tungsteno sinterizzato attraverso la lavorazione, è stato ottenuto il materiale di destinazione del tungsteno ad alta purezza con la purezza del 99,999% e la densità del 99% e sopra per il semiconduttore, che ha i vantaggi di elevata purezza, alta densità e bassa resistenza.

La purezza dell'obiettivo del tungsteno nel circuito integrato del semiconduttore semiconduttore ha un alto requisito, generalmente la purezza target dovrebbe essere superiore al 99,999%. Allo stesso tempo, la densità del bersaglio ha anche un effetto importante sul processo di rivestimento e sulla prestazione del film, la densità del bersaglio non solo colpisce la velocità di deposizione, la densità delle particelle del film sputtering e del fenomeno di scarico, Ma influenza anche le proprietà elettriche e ottiche del film di sputtering. Il bersaglio più denso, inferiore la densità delle particelle del film sputtering, il più debole è il fenomeno di scarico, e migliore è la performance del film.

Solo poche aziende negli Stati Uniti e in Giappone hanno padroneggiato la tecnologia di produzione per gli obiettivi di tungsteno utilizzati nella produzione di trucioli. Fortunatamente, con il sostegno del \"Made in China 2025 \" politica, sempre più persone di talento sono tornate in Cina per iniziare le proprie attività, portando con loro un'esperienza tecnologica avanzata e creare un'atmosfera migliore per la ricerca e lo sviluppo. Ciò non solo ha concluso la storia del materiale target in metallo che deve fare affidamento sulle importazioni, ma è entrata anche nel primo echelone del mondo in questo campo.