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numero Sfoglia:5 Autore:Editor del sito Pubblica Time: 2021-12-06 Origine:motorizzato
Se il flusso magnetico dei poli interni ed esterni del catodo di sputtering del magnetron non è uguale, è un catodo sputtering magnetronico sbilanciato. Il campo magnetico del catodo di sputtering del magnetron ordinario è concentrato vicino al bersaglio, mentre il campo magnetico del magnetronico non equilibrio sputtering catodo diverge molto al bersaglio. Il campo magnetico del catodo del magnetrone ordinario è strettamente legato al bersaglio, mentre il plasma vicino al substrato è molto debole, e il substrato non sarà bombardato da ioni ed elettroni. Il campo magnetico catodo a controllo a controllo a controllo non equilibrio può estendere il plasma al bersaglio commerciale molto e immergere il substrato.
Il principio del film isolante impilabile: un potenziale negativo viene applicato al conduttore sul retro dell'obiettivo isolante. Nel plasma di scarico del bagliore, quando la piastra del corpo di Guida ionica positiva rallenta per volare, l'obiettivo isolante di fronte è sparato per farlo sputtering. Questo sputtering può persistere solo per 10-7 secondi, e quindi il potenziale positivo formato dalla carica positiva accumulata sulla piastra di destinazione isolante neanca il potenziale negativo sulla piastra del conduttore, fermando così il bombardamento dell'obiettivo isolante per ioni positivi ad alta energia . A questo punto, se la polarità dell'alimentazione è stata invertita, gli elettroni attaccheranno il tabellone isolante e neutralizzano la carica positiva sul pannello isolante entro 10-9 secondi, rendendolo un potenziale zero. In questo momento, quindi invertire la polarità dell'alimentatore e può attaccare i vantaggi di 10-7 secondi di sputtering RF sputtering: entrambi i bersaglio in metallo sputtering, può anche essere placcato il cedro del target medio isolante
L'apparecchiatura del rivestimento di sputtering del magnetron è aggiunta nel bersaglio del catodo di sputtering DC, il campo magnetico applicato il campo magnetico a distanza il LORETZ Force Bound e l'estensione dell'elettricità nella traccia del movimento del campo elettrico, aggiungi il bustino elettronico contro le opportunità con gli atomi di gas, la conduttività del gas di ionizzazione atomica Per aggiungere, rendere il bombardamento ionico ad alta energia dei diritti del materiale target e la bombardamento è più placcatura substrato di aumenti di elettroni ad alta energia.
Vantaggi del magnetrone stereoscopico Sputtering
1, la densità di potenza target può raggiungere 12W / cm2;
2, la tensione di destinazione può raggiungere 600v3. La pressione del gas può raggiungere 0,5PA.
3, difetti di sputtering magnetron tridimensionale: il bersaglio nell'area della pista del canale di sputtering, l'intero incisione sulla superficie target non è nemmeno, il tasso di applicazione target è solo del 20% ~ 30%.
Si riferisce all'attrezzatura a sputtering del magnetrone di comunicazione a media frequenza, le due dimensioni generali e la forma del bersaglio opposto fianco a fianco, spesso chiamato Target Twin. Sono supporti sospesi. In generale, due bersagli sono alimentati insieme, e nel processo di se il magnetrone di comunicazione echo sputtering, i due bersagli agiscono alternativamente come anodo e catodo, e interagiscono come catodo positivo nello stesso mezzo periodo. Quando il bersaglio è al potenziale di mezzo ciclo negativo, la superficie di destinazione viene sputata da un bombardamento dei ioni positivi. In mezzo ciclo positivo, la carica del plasma viene rallentata per raggiungere la superficie di destinazione, e la carica positiva accumulata sulla superficie isolante della superficie di destinazione è neutralizzata, che non solo controlla l'accensione della superficie target, ma elimina anche la scena anodo.
(1) Tasso di accumulo elevato. Per gli obiettivi di silicio, il tasso di impilamento della frequenza intermedia echo sputtering è 10 volte quello di DC Echo Sputtering.
(2) Il processo di sputtering può fluttuare al punto operativo impostato.
(3) Eliminare la scena \"Lighting \". La densità del difetto del film isolante preparato è diversi ordini di grandezza inferiore a quella del metodo di sputtering reattivo DC.
(4) La temperatura superiore del substrato è vantaggiosa per migliorare la qualità e l'adesione del film.
(5) Se l'alimentatore è più complesso e abbinabile di destinazione rispetto all'alimentazione RF.
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